Fingerprint
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Effect of deposition temperature on polymorphous silicon thin films by PECVD: Role of hydrogen
- L. Hamui
- , B. M. Monroy
- , K. H. Kim
- , A. López-Suárez
- , J. Santoyo-Salazar
- , M. López-López
- , P. Roca I Cabarrocas
- , G. Santana*
*Autore corrispondente per questo lavoro
Risultato della ricerca › peer review
18
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